采用高介電強度的氣體是為了.削弱電離及加強消電離的措施之一。
高介電強度氣體是指那些介電強度明顯高于空氣的氣體，如鹵族元素的氣體化合物，其中包括六氟化硫( SF6)、氟利昂(CCI2F2)等。
下表為幾種氣體的相對介電強度(相同壓力和間隙距離條件下，氣體的介電強度與空氣的介電強度之比)、氣體的分子量以及氣體在0.1MPa下的液化溫度。采用這些高介電強度氣體作為絕緣介質可以大大提高間隙的擊穿電壓。在空氣中混用一部分高介電強度氣體也在某種程度上提高間隙的擊穿電壓。
鹵化物氣體具有高介電強度的原因如下:
1）含鹵族元素氣體具有很強的負電性，氣體分子極易和電子結合而成為負離子，根據氣體放電理論，負離子對氣體間隙擊穿過程的貢獻遠遠小于電子，因此，這種電子數目減少的結果削弱了電場電離口。同時，負離子的存在又使得帶電粒子的復合過程得到加強。
2）這些氣體的分子直徑較大，這就使得電子在其中的自由行程變短，不易積累能量，從而降低了電子的電場電離能力。
3)電子和這些氣體分子相遇時，容易引起氣體分子發生極化，從而增加能量的損失，同樣也會降低電場電離能力。
在高壓電器領域SF6被廣泛應用。除了利用SF6的高介電強度作為絕緣介質外，工程上還利用其優良的滅弧性能作為滅弧介質，例如SF6斷路器。不僅在單臺電器【如SF6斷路器、避雷器、電容器等】中使用，還可以將整套設備組成一體，封閉后充以SF6氣體，從而可以大大地減小了整套設備的尺寸、節省占地面積、簡化運行維護等。例如全封閉組合電器GIS、全封閉氣體絕緣變電所等。
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